王逸记得，魔都微电子，哈工大，华卓精科，科益虹源光电，都是该领域的巨头。
魔都微电子就不用说了，目前90纳米的国产光刻机，就是他们做的，代表了当下国产光刻机的最高水平。
前世，十年后的国产DUV光刻机，也是该企业牵头搞出来的。
大基金全力支持，实力毋庸置疑。
此外，哈工大同样底蕴深厚，尤其是EUV光刻机的极紫外光源技术上取得突破，打破技术封锁，为EUV光刻机的量产奠定了技术基础。
还有华卓精科研制的光刻机双工件台，科益虹源光电的光源技术，都是突破封锁的利剑，研发EUV光刻机的利剑。
但如何投资，怎么投资。
是直接资金投入，还是成立尖端研发团队，和哈工大等机构共同研发？
都得好好规划。
对此，王逸打算等着大基金出手后，看看大基金的规划，他再查漏补缺。
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