“869号实验材料,第5次实验,厚度0.5微米,光分解速度16.73秒……”

        “将X光机的激光能级调低为45瓦每秒。”

        激光再一次划过工作台,上面的光刻胶实验品被快速的分解,检测仪器迅速测量出相关数据。

        “869号实验材料,第6次实验,厚度0.5微米,光分解速度19.34秒……”

        在实验室外面。

        h明哲看了看数据,果然要研发出XS线高敏光刻胶不是那麽容易的。

        光刻胶实验室到现在为止,已经测试了869种光刻胶新材料配方,但是最优秀的一种材料配方,是厚度0.5微米,在40瓦每秒的XS线照S下,12.44秒完成光分解。

        这个参数距离预订目标还差的远,根据神光仪器和材料研究所的联合评估,如果真的要和极紫外光光刻机竞争,至少要达到厚度0.5微米,在40瓦每秒的激光照S下,5秒以内完成光分解。

        “老马,你们任重道远啊!”h明哲转过头说道。

        “社长,我们一定竭尽全力,将XS线光刻胶Ga0出来。”马知力坚定的回道。

        其实现在材料研究所的进度已经非常快了,他们通过光敏材料规律模型的筛选,至少将材料研发成本压低了上百倍,研发效率同样提升了上百倍。

        不需要通过穷举实验法一个个去试错,极大的压低了非常多冗余工作,这种研发速度是非常惊人的,相当於一年g了一百年的工作。

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